超声波液位传感器在半导体纯水储存罐液位变化监测应用方案

伴随着芯片的集成度越来越高，半导体制造的先进程度也逐渐提升。在芯片半导体的生产加工过程中要不断用水清洗，对水质的纯度要求特别高，要求达到ppb级别，所以为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，超纯水也是其中最关键的因素之一。

半导体包括芯片，存储器等产品在生产过程中需要经历上百道清洗程序，而为保证半导体精度，其工艺技术中要求用到纯水清洗，清洗所需的超纯水必须达到电子级，为了避免其中混入杂质，而影响半导体产品功能，进而影响半导体产品的性能及寿命。因此对工业清洗半导体的纯水主要储存在其内部的储水罐中对于其液位的控制非常重要，要求纯水的液位高度保持恒定。

半导体生产线储水罐里面的原料是纯水，透明且不带导电性，要求无污染，还要求传感器要做到精确检测;除此之外存放纯水的储水罐是个封闭的容器，有些储水罐里面带有搅拌机构以及进水泵和出水泵，导致其液位或者料位在搅拌的过程中会波动，这也为准确测量液位或料位带来困难。

为客户提供的超声波传感器恰恰解决了这个问题，超声波传感器能够实现非接触测量，不仅做到非接触测量，减少二次污染，还有超声波传感器特有的自适应功能及滤波功能，达到精准的液位检测。

利用超声波传感器实时监控液位的高度，以此来保持储水罐的水位高度恒定，从而跟进纯水的特性。而且是透明的特殊这一特性，其它的传感器也很难做到如此有效精确检测。MaxBotix 液位超声波传感器 - MB7389 MB7380对于需要使用的应用程序，hrxl-maxsonar-wr传感器是一种具有成本效益的解决方案。精度范围-查找，低电压操作，节省空间，低成本，和IP67的天气预报阻力。

hrxl-maxsonar-wr传感器线提供高精度高分辨率超声接近在空气中探测和测距。该传感器线的特点是1毫米分辨率、目标尺寸和操作电压补偿。为了提高准确度，更好地拒绝外部噪声源，内部速度的温度补偿以及可选的外部温度补偿。hrxl-maxsonar-wr/wrc模型是可用的在5米或10米的模型中。这个超声传感器可以探测到从1毫米到30厘米的物体的物体，范围不超过30厘米的物体通常被报告为30厘米。接口输出格式是脉冲在RS232(MB7360系列)或TTL(MB7380系列)中，宽度、模拟电压和数字串行。工厂校准是标准的。

MaxBotix 液位超声波传感器 MB7389 MB7380 产品特点：

工厂校准波束宽度

低操作电压

2.7 v至5.5 v

MaxBotix 液位超声波传感器 MB7389 MB7380 产品应用：

仓位测量

油罐液位测量

(关键字：半导体)