全球领先的移动机器人解决方案提供商优艾智合(YOUIBOT)近日宣布，其针对半导体行业推出的洁净室自动化物流解决方案已在全球范围内实现规模化部署，服务客户超过300家，其中包括台积电、中芯国际、华天科技等全球半导体龙头企业。这一解决方案覆盖了从衬底制备、外延生长、晶圆制造到封装测试的全产业链环节，成为半导体智能制造领域的重要推动力。
半导体制造是当今科技产业的核心，其生产过程对洁净度、精度和稳定性要求极高。传统的物料搬运方式依赖人工操作，不仅效率低下，还容易引入污染和误差。优艾智合通过自主研发的高精度SLAM导航技术和复合机器人系统，成功解决了半导体制造中的物流自动化难题。其AMR(自主移动机器人)产品能够在Class 1超净环境中稳定运行，振动值严格控制在0.1g以下，满足晶圆级微震动抑制要求，同时通过CE和SEMI S2国际认证，操作精度可达±1mm。
优艾智合的解决方案不仅具备卓越的硬件性能，还搭载了自主研发的Fleet调度系统。该系统支持多机型、多场景的协同作业，可同时调度1000台以上机器人，实现高效路径规划和动态任务分配。此外，系统还支持可视化编程和地图编辑功能，能够根据生产需求快速调整物流路线，支持地图扩建、补建和局部重建，极大提升了生产线的灵活性和可扩展性。
在实际应用中，优艾智合的AMR系统已成功部署于多家全球知名半导体企业的生产线。例如，在某国际头部晶圆厂的8寸晶圆车间，优艾智合通过50+台OW8晶圆盒搬运机器人，实现了SMIF POD在光刻机、蚀刻机、CMP等设备间的自主流转，替代了传统的人工搬运方式。该项目不仅大幅降低了人力成本，有效提升物料处理效率，为工厂的7×24小时连续生产提供了可靠保障。
优艾智合创始人表示：“半导体行业正面临着智能化升级的关键机遇，我们的目标是通过创新的机器人技术和智能物流解决方案，帮助客户实现稳定、柔性、高效的生产运营。未来，我们将继续深耕半导体领域，推动全球半导体制造的智能化转型。”
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