旭灿半导体取得气体循环装置和晶体生长系统专利

2024年11月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京旭灿半导体科技有限公司取得一项名为“气体循环装置和晶体生长系统”的专利，授权公告号 CN 221940690 U，申请日期为 2023年12月。

专利摘要显示，本申请提供一种气体循环装置和晶体生长系统。气体循环装置，包括热交换器、压缩机、冷却环、第一流量计、浮球流量计和真空泵，热交换器具有进口和出口，出口与进口通过第一管路连通;压缩机设置在第一管路上，用于对其他进行压缩;冷却环设置在第一管路上，且位于热交换器的出口与压缩机之间，用于对第一管路中的气体进行冷却降温;第一流量计设置在第一管路上，且位于压缩机与热交换器进口之间，用于控制第一管路内气体的流量;浮球流量计设置在第一流量计与热交换器进口之间，用于显示第一流量计与热交换器之间是否具有气体;真空泵一端与第一管路的第一区域通过第二管路连通，第二端与外部连通，以用于将第一管路中的气体排空。

(关键字：半导体)