氧化锡膜的特点

氧化锡膜[1] 组成为氧化锡的薄膜。特点为高导电性，在可见光波段有良好的透光性，较高的红外叹射率和紫外吸收性。氧化锡膜常用热解化学气相沉积〔"I'C'S' LJ )或反应磁控溅射法制备。主要用于:f)透明电极，伟J一光电元件、太阳能电他、场致发光元件和显不器件;IZ)电限器i(JJ既透光又能反射红外的窗玻璃节能膜;(的汽车防霜玻璃。与氧化锡类似的透明导电膜还有I'1'U膜，山$n }n I n2t)3和e} }l5n0:组成。通常用磁控溅射或余频反1.i1溅射制备

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